CRF plasma 等離子清洗機

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    等離子清洗機設備放電電壓對等離子體CH4臨H2轉化反應的影響

    等離子清洗機設備放電電壓對等離子體CH4臨H2轉化反應的影響:
           隨著放電電壓的增大甲烷的轉化率和C2烴收率呈上升趨勢,C2烴選擇性先增大后減小,在等離子清洗機設備放電電壓為16kV時C2烴選擇性大。據(jù)文獻報道,等離子清洗機設備等離子體條件下,CH活性物種的發(fā)射強度變化直接受工作氣壓和放電參數(shù)的影響。

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           由CH活性物種的強弱可探知甲烷在等離子體中裂解的程度,因為同一條譜線的強度和該成分的粒子密度成正比,所以通過譜線的相對強度隨各工藝參數(shù)的變化可推測該粒子數(shù)隨相應工藝參數(shù)的變化。提高放電電壓,等離子清洗機設備CH活性物種的發(fā)射強度隨放電電壓的增加而增強。
           分析其原因是在氣體流速不變的條件下,輸入電壓低時電子受電場加速獲得的能量低,同時低能態(tài)下總的碰撞橫截面積也較低,CH4與高能電子的碰撞概率小,從而導致生成的活性物種少。隨著放電電壓的升高,電離率和電子密度增加,同時高能電子與CH4碰撞橫截面也隨之增大,意味著碰撞概率加大,生成的CH活性物種增多。同時也注意到,在實驗過程中,隨著電壓的增加,反應器壁上的積碳有所增加。

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