1.高真空氣動擋板閥(GDQ)
　　通常真空等離子清洗機在短時間待機狀態(tài)下會保持真空泵處于運行狀態(tài)，高真空氣動擋板閥用于接通或切斷真空管路中的氣流，以實現(xiàn)真空腔體抽真空的啟動和關閉。
　　高真空氣動擋板由壓縮空氣作為動力，穩(wěn)定可靠，而且維護方便，在真空等離子清洗機中被廣泛應用。
　　2.電磁真空帶充氣閥(DDC)
　　電磁真空帶充氣閥用于真空泵隨運行參數(shù)啟動的真空等離子清洗機，屬于電磁閥類。當真空泵運行時電磁真空帶充氣閥打開，真空泵關閉時閥門線圈斷電閥門靠機械力關閉，其主要作用是防止真空泵內(nèi)油氣因真空腔體內(nèi)負壓作用而被倒吸。
　　電磁真空帶充氣閥安裝簡單，但穩(wěn)定性相對較差，長時間使用，閥門磁力會衰退同時復位彈簧易反應遲緩，目前大多被應用于實驗型真空等離子清洗機。
　　3.手動高真空角閥
　　真空等離子清洗機所用的手動高真空角閥通常為定制型，主要用于手動控制真空氣路通斷、分斷測壓等。通常會在角閥上焊接一個KF16接頭，以便連接真空計。
　　這種閥門在真空等離子清洗中已經(jīng)很少被應用，主要應用于部分實驗設備及真空管道檢漏。

      下面，我們來說說真空等離子清洗機的氣路控制布局及特點。
　　1、常用氣路控制布局
　　真空等離子清洗機常規(guī)氣路通常包括兩路工藝氣體控制、一路破空氣體控制、一路壓縮空氣(CDA)控制。
　　2、各氣路組成部分及特點
　　壓縮空氣控制部分只需要氣體高壓、過濾器及帶輸出報警壓力表整套組件，不需要其他的組件。因為CDA為部分元件的動力氣體，只需要在氣體壓力不足時提供報警服務即可。
　　破空氣體部分是在CDA控制氣路基礎上增加一支大口徑的真空電磁閥，在工藝運行結(jié)束后為真空腔體提供破真空氣體輸入服務。因為破真空氣體通常為高潔凈氣體，所以部分破真空氣路中沒有安裝過濾器。
　　工藝氣體通常為高潔凈氣體，過濾器通常也是選裝組件。工藝氣體控制部分主要包括調(diào)壓閥、過濾器、帶報警輸出報警表、真空電磁閥和質(zhì)量控制器。工藝氣體通常配置兩路，可以根據(jù)要求配置多路。
　　3、真空等離子清洗機的氣體各控制組件及進氣順序如下：過濾器→調(diào)壓閥，帶報警輸出壓力表→真空電磁閥→質(zhì)量控制器