型號：CRF-VPO-8L-M

外接電源：380V/AC,50/60Hz

等離子功率：1000W/40KHz/13.56MHz

腔體容量：80L(可定制)

腔體層數：8層(可定制)

工作氣體：Ar、N2、H2、CF4、O2

型號：CRF-VPO-8L-M

外接電源：380V/AC,50/60Hz

等離子功率：1000W/40KHz/13.56MHz

腔體容量：80L

腔體層數：8

處理氣體：Ar、N2、H2、CF4、O2

型號：CRF-APO-RP1020-D

外接電源：220V/AC,50/60Hz

等離子功率：600-1000W/25KHz（Option）

處理高度：5-15mm

處理寬幅：旋噴式：20-80mm（Option）

工作氣體：Compressed Air (0.4mpa)/N2(0.2mpa)

型號：CRF-APO-500W-W

外接電源：220V/AC,50/60Hz

等離子功率：2set*1000W/25KHz(Option)

處理高度：5-15mm

處理寬幅：50mm-500mm（Option）

工作氣體：Compressed Air(0.4mpa)

型號：CRF-APO-IP-XXHD

外接電源：220V/AC,50/60Hz

等離子功率：800W*4set/ 25KHz

處理高度：5-15mm

等離子噴槍數量：4(MAX)

工作氣體：Compressed Air (0.4mpa)/N2(0.2mpa)

型號：CRF-APO-R&D-XXXHD

外接電源：220V/AC,50/60Hz

等離子功率：600-1000W20KHz(Option)

處理高度：5-15mm

處理寬幅：旋噴式:20-80mm(Option)

工作氣體：Compressed AIR (0.4mpa)/N2(0.2mpa)